OS GSO IEC 62047-2:2014
Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada

Estándar No.
OS GSO IEC 62047-2:2014
Fecha de publicación
2014
Organización
The Directorate General of Specifications and Metrology (DGSM)
Ultima versión
OS GSO IEC 62047-2:2014
 
Introducción
Esta norma proporciona métodos de prueba para el ensayo mecánico de materiales delgados utilizados en dispositivos microelectrónicos. Específicamente, esta parte se centra en las técnicas de tracción para evaluar la resistencia y los comportamientos mecánicos de estos materiales. Los procedimientos detallados permiten una comparación objetiva entre distintos lotes o tipos de material. La norma es aplicable a diversos componentes y estructuras microelectrónicos fabricados con películas delgadas.

OS GSO IEC 62047-2:2014 Historia

  • 2014 OS GSO IEC 62047-2:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada

estándares y especificaciones

IEC 62047-2:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada BS EN 62047-2:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada DS/EN 62047-2:2007 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada GSO IEC 62047-2:2014 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada CEI EN 62047-2:2007 semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada JIS C 5630-2:2009 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada DANSK DS/EN 62047-2:2006 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada EN 62047-2:2006 Dispositivos semiconductores Dispositivos microelectromecánicos Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada BH GSO IEC 62047-2:2016 Dispositivos semiconductores - Dispositivos microelectromecánicos - Parte 2: Método de prueba de tracción de materiales de película delgada


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