BS ISO 14237:2010
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente

Estándar No.

BS ISO 14237:2010

Fecha de publicación

2010

Organización

British Standards Institution (BSI)

Ultima versión

BS ISO 14237:2010

Reemplazar

09/30153670 DC:2009 BS ISO 14237:2000

Alcance

Esta norma internacional especifica un método para determinar la concentración atómica de boro en silicio monocristalino mediante espectrometría de masas de iones secundarios, utilizando un material uniformemente dopado y calibrado con un material de referencia certificado con ion de boro implantado. El método es aplicable a concentraciones de boro uniformemente dopado de entre 1×10^16 átomos/cm³ y 1×10^20 átomos/cm³.

BS ISO 14237:2010 Documento de referencia

• ISO 17560 Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Método para perfilar en profundidad el boro en silicio.*， 2014-09-10 Actualizar
• ISO 18114 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones*， 2021-04-30 Actualizar
• ISO 5725-2 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 2: Método básico para la determinación de la repetibilidad y reproducibilidad de un método de medición estándar.*， 2019-12-06 Actualizar

BS ISO 14237:2010 Historia

• 2010 BS ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
• 2000 BS ISO 14237:2000 Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente.

Temas especiales sobre estándares y normas

estándares y especificaciones