NF X21-070*NF ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente.
Este documento describe un método para determinar la concentración atómica del boro en el silicio mediante espectrometría de masas de iones secundarios. El método se basa en la utilización de materiales dopados de manera uniforme para calibrar el análisis. El procedimiento incluye la preparación de la muestra, la adquisición de datos mediante espectrometría de masas de iones secundarios y el cálculo de la concentración atómica del boro. El documento proporciona detalles sobre las condiciones experimentales, las especificaciones de los instrumentos y las técnicas de análisis necesarias para obtener resultados precisos y reproducibles. Este enfoque permite una evaluación cuantitativa confiable del contenido de boro en muestras de silicio, utilizado en diversos campos de la ciencia e ingeniería de materiales.
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NF X21-070*NF ISO 14237:2010 Historia
2010NF X21-070*NF ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente.