Este documento especifica los términos y definiciones, estructura y clasificación, requisitos técnicos, métodos de inspección, reglas de inspección, marcado, embalaje, transporte y almacenamiento de botes de grafito (barcos de grafito para abreviar) utilizados en equipos de deposición química de vapor mejorada con plasma tubular en el campo fotovoltaico. . Este documento se aplica a las embarcaciones de grafito utilizadas en equipos de deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD).
T/ZJCX 0043-2024 Historia
2024T/ZJCX 0043-2024 Barco de grafito para equipos de deposición química de vapor mejorada por plasma